BeideVakuumpumpe und Kompressorsind Geräte zur Verarbeitung von Gas, aber ihre Arbeitsprinzipien und der Anwendungsbereich sind unterschiedlich.
Die Hauptfunktion der Vakuumpumpe besteht darin, das Gas aus der Reaktionskammer zu entfernen, um den Druck im Behälter zu verringern, um einen vorgegebenen Vakuumgrad zu erreichen. Das Gas wird durch den Saug- und Abgasmechanismus aus dem Raum extrahiert, um einen Vakuumzustand zu bilden. Vakuumpumpen werden normalerweise in Laboratorien, Produktions- und Fertigungsfeldern verwendet. In Waferfabrik, Ätzgeräte, Ablagerungsausrüstung, EUV -Lithographieausrüstung, Ionenimplantationsgeräte, Erkennung und Charakterisierungsausrüstung usw. müssen alle saugte.
Die Funktion des Kompressors besteht darin, Gas zu atmen und zu komprimieren, den Druck des Gases zu erhöhen, das Gas in ein kleineres Volumen zu komprimieren und die Dichte und den Druck des Gases zu erhöhen. Sein Arbeitsprinzip besteht darin, das Gas durch das Abgasventil zu komprimieren und dann das Druckgas in einen Gastank oder eine andere Ausrüstung zu legen. Kompressoren werden normalerweise für Verarbeitungs- und Fertigungspelfelder verwendet. Das CDA -Gas, über das wir oft sprechen, wird vom Kompressor bereitgestellt. CDA wird verwendet, um verschiedene Automatisierungsgeräte und Ventile zu steuern. Für die Herstellung von Halbleiter muss die CDA sehr rein und trocken sein. Der Luftausgang des Kompressors muss durch ein ausgeklügeltes Filtrationssystem gelangen, um Öl, Feuchtigkeit und andere Partikel zu entfernen, um sicherzustellen, dass die Wafer keine Kontamination vorliegt.
Was sind die Kategorien vonVakuumpumpe und Kompressor?
In Halbleiterausrüstung werden üblicherweise Trockenpumpen und molekulare Pumpen verwendet. Eine Trockenpumpe bezieht sich auf eine Vakuumpumpe, die keine Flüssigkeit als Versiegelungs- oder Kühlmedium verwendet, wodurch das Problem der Öldampfverschmutzung vermieden wird. Es wird im Allgemeinen für die raue Vakuum -Extraktion von Halbleiterausrüstung verwendet. Molekülpumpen können extrem hohe Vakuumspiegel erzielen. Trockenpumpen und molekulare Pumpen werden häufig in Kombination in Halbleiterausrüstung verwendet, um den Bedürfnissen unterschiedlicher Vakuumniveaus zu erfüllen.
Kompressoren können in Kolben, Schrauben, Zentrifugal, Rotationsschaufel -Luftkompressoren usw. unterteilt werden.
Aufgrund der verschiedenen Konstruktionen und Arbeitsprinzipien der Vakuumpumpe und des Kompressors können Vakuumpumpen normalerweise die Kompressoren ersetzen. Obwohl Vakuumpumpen den Druck und die Dichte von Gasen reduzieren können, können sie Gase nicht in kleinere Volumina und höhere Drücke komprimieren. Aufgrund der begrenzten Leistung und der Arbeitseigenschaften von Vakuumpumpen eignen sich außerdem am besten für die Behandlung von Gasen mit niedriger Dichte und Niedrigdruckumgebungen.
Daher sollte ein Kompressor verwendet werden, wenn Gas in ein kleineres Volumen und einen höheren Druck komprimiert werden muss. Im Gegenteil, wenn das Gas extrahiert und ein Vakuumzustand gebildet werden muss, sollte eine Vakuumpumpe verwendet werden.
Obwohl beidesVakuumpumpe und KompressorSind Geräte, die zur Verarbeitung von Gas verwendet werden, es gibt große Unterschiede im Design- und Arbeitsprinzip. Obwohl die Vakuumpumpe den Druck und die Dichte des Gases verringern kann, kann sie den Kompressor nicht ersetzen, insbesondere wenn das Gas in ein kleineres Volumen und einen höheren Druck komprimiert werden muss.
